快速退火爐是用于制造半導(dǎo)體器件的工藝，包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設(shè)計的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或晶片襯底界面，密集沉積薄膜，改變生長薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，將摻雜劑從一個薄膜移動或轉(zhuǎn)移到另一個薄膜，或者從薄膜進入晶片襯底。
 

　　那么快速退火爐有哪些類型呢？
 

　　一、鋁合金快速退火爐。
 

　　主要用于鋁合金、鋁板的熱處理和均熱退火。
 

　　鋁合金快速退火爐由臺車爐體、循環(huán)系統(tǒng)、導(dǎo)流設(shè)備、加熱元件、裝料臺車、爐門升降機構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)組成。
 

　　二、井式真空快速退火爐。
 

　　適用于圓線材和鋼帶退火。真空加熱退火，不滲氮不脫碳，使工件退火后保持光亮。真空快速退火爐主要由爐體、爐襯、真空泵、循環(huán)風(fēng)機和電氣控制系統(tǒng)組成。
 

　　三、多管不銹鋼絲光亮快速退火爐。
 

　　它由加熱爐、冷卻器、放卷機構(gòu)和電控系統(tǒng)組成。
 

　　主要適用于不銹鋼絲、銅線、鐵絲等的光亮退火。
 

　　四、井式快速退火爐。
 

　　適用于圓線材和不銹鋼線材，拉伸前退火，氧化少，無脫碳，使工件退火后保持整齊。特點：可配置多臺爐，多工位操作可節(jié)省人力資源，提高生產(chǎn)效率，節(jié)約能源，降低生產(chǎn)成本。
 

　　五、臺車式快速退火爐主要用于銅排、鑄鋼件、汽車零部件、軋輥、鋼球、金屬結(jié)構(gòu)件及焊件的正火及退火熱處理。臺車式快速退火爐主要由爐門升降和密封設(shè)備、爐車、爐車傳動機構(gòu)、電加熱設(shè)備和溫度控制系統(tǒng)組成?？稍谒降孛嫔鲜褂茫瑹o需基礎(chǔ)安裝。
 

　　六、罩式快速退火爐。
 

　　該設(shè)備可廣泛用于有色金屬銅、鋁合金、黑色金屬、普碳鋼、硅鋼、合金鋼及其他卷、卷、線等的退火。沒有氮化和脫碳，使工件退火后能保持整齊。該快速退火爐具有生產(chǎn)效率高、產(chǎn)品質(zhì)量好、能耗低、無污染、自動化操作、安全可靠等優(yōu)點。罩式爐由加熱罩、兩個爐座、閥門框架和電氣控制系統(tǒng)組成。
 

　　七、網(wǎng)帶式不銹鋼快速退火爐。
 

　　它由進料臺、加熱區(qū)、冷卻段、氨分解爐、電氣控制系統(tǒng)等部分組成。主要適用于各種不銹鋼、銅、鐵制品在保護氣氛控制下的連續(xù)光亮退火和固溶處理。