1、SPDR介電測試夾具應(yīng)用

QWED SPDR用于測量層狀介電材料的復(fù)介電常數(shù)，包括LTCC襯底以及沉積在低損耗介電襯底上的鐵電薄膜；還可用于測量各種導(dǎo)電材料（如商用電阻層，導(dǎo)電聚合物薄膜或高電阻率半導(dǎo)體）的表面電阻和電導(dǎo)率。這種測量僅適用于Rs> 5kΩ/平方的大型表面電阻樣品。

2、SPDR介電測試夾具厚度為h的樣品的測量精度

Δε/ε=±(0.0015 + Δh/h)

Δtanδ=±2*10-5 或  ±0.03*tanδ

3、工作頻率范圍

QWED SPDR使用特定諧振模式。此模式具有特定的諧振頻率，具體取決于諧振器的尺寸，但在某種程度上還取決于被測樣品的電特性。因此，每個(gè)設(shè)計(jì)的諧振器都只能用于特定的標(biāo)稱頻率，并且實(shí)際測量是在接近標(biāo)稱頻率的頻率上進(jìn)行的。

QWED SPDR基本的標(biāo)稱頻率為：1.1 GHz，1.9 GHz，2.45 GHz，5 GHz，10 GHz和15 GHz?？梢愿鶕?jù)特殊要求制造其他頻率在1.1至15 GHz之間的諧振器。

4、工作溫度范圍

-2700C 至 1100C

5、測量所需的其他設(shè)備

微波頻率Q表或矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

6、測量步驟

可測量空諧振器和帶有研究樣本的諧振器的諧振頻率和Q因子。提供了軟件來確定介電常數(shù)和介電損耗正切。配備安捷倫科技的PNA / ENA系列網(wǎng)絡(luò)分析儀（帶有Option 300的85071E材料測量軟件）的用戶，只需將QWED應(yīng)用程序上載到網(wǎng)絡(luò)分析儀中，并直接在其顯示屏上獲得終結(jié)果。

使用不同網(wǎng)絡(luò)分析儀的用戶需要在標(biāo)準(zhǔn)PC計(jì)算機(jī)或網(wǎng)絡(luò)分析儀（如果裝有Windows®操作系統(tǒng)）上安裝用于介電特性計(jì)算的軟件。

7、其他

樣本的小大小取決于諧振器的工作頻率。以下給出了諧振器常用工作頻率對(duì)應(yīng)的小樣本尺寸。

根據(jù)工作頻率確定的小樣本尺寸